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DX-9B型回擺曲線定向儀
功能：
該儀器是半自動型角度測量儀,用于測定單晶材料的表面缺陷。單片機系統采集的實時數據傳送給計算機分析系統進行數據處理進而得到峰位角和半峰寬（FWHW）值，以此判斷晶面表面是生長的完整性。
特點：該設備具有檢測過程無破壞性，重復性檢測精度高，準確性高等特點，使檢測簡單、快捷，使用方便。
技術參數：
項目 | 參 數 |
輸入電源 | 單相交流220V，50Hz，0.3KW. |
大管電壓 | 30kV |
管電流 | 0-5mA連續可調 |
探測器 | 閃爍探測器，工作電壓高為DC1000V。 |
X射線管 | 銅靶，風扇冷卻，陽極接地。 |
測定角度 | 2θ=－10～120°，θ=－5～60°。 |
綜合精度 | 回擺曲線測定的一側精度為±5″，晶體角度定向的一側精度為±15〞（用標準石英片10ī1面或寶石拋光片測量，以廠內標準晶片量測）。 |
小讀數 | 1″ |
測試速度 | 一般樣品測一次需用時間18秒（掃描角度范圍±5ˊ），可測一次或者多次，樣品不動，反復多次測量同點重復性≤±1″（用標準石英拋光片 10ī1面或藍寶石襯底級拋光片測量）。 |
數據采集頻率 | 每1〞(1/3600度)采集一次數據。 |
存儲功能 | 電腦自動記錄每次測量結果，需保存測試記錄時，點擊轉存按鈕，將所有記錄保存在excel表中。 |
外形尺寸 | 主機750（長）×682（寬）×690（高）mm 電器930（長）×790寬）×780（高）mm |
儀器重量 | 140kg。 |
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