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型號 | 機組穩定抽速（L/S） | 空載極限真空（Pa） | 分子泵型號 | 前級泵 | 機組尺寸（mm，不含羅茨泵） |
FJ2000 | 2000 | 9×10-5 | FF-250/2000 | 干泵或旋片泵（可配羅茨泵） | 1000×600×1500 |
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