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型號：CX-CFG500 類型：薄膜電容真空計
適用氣體：不限氣體種類 反應時間：10ms
測量范圍：10pa ~1.0×10+5 Pa
供電：24 ±5 VDC /0.5A ；整機*大功耗1.0W
防護等級：IP40，IEC529
重量：250g 接口：標準 KF16 法蘭
接觸真空的材料：SS304, SS316L, Kovar 4J50, 燈絲, 饋通玻璃
CFG500系列薄膜電容真空規采用雙片圓形薄陶瓷片封裝成背壓恒定的密封腔，當測量面出現真空負壓時，陶瓷片呈穹彎型形變，前置陶瓷片與背景陶瓷片間距發生變化導致平行電極間電容發生變化，通過測量電容變化計算電極間距離變化，通過陶瓷彈性形變進而傳感出真空壓強。
產品實拍
高精度測量：±0.25%讀數
對測量環境氣體不敏感
抗腐蝕、抗粉塵、抗氧化
模擬電壓輸出：0.0～+10.0VDC
RS485 Modbus-RTU數字通訊
2路可設置控制開關
3鍵智能操作 5位LED數字顯示
| 參數 | 數值 |
| 測量范圍 | 10pa ~ 1.0×10+5 Pa |
| 測量精度 | ±0.25 % 讀數 |
| 測量重復性 | ±0. 1% 全量程 |
| 測量分辨率 | 0.002% 全量程 |
| 長期穩定性 | 每年變化不大于滿量程 ±0.5 % （不含環境變化因素） |
| 溫度補償范圍 | -20o C ~ +80o C, ±0.01 %FS/ o C |
| 工作環境 | -10o C ~ +50o C； 5 ~ 85 %,不結露 |
| 供電電源 | +24V（±20%）/0.5A（適用+5.0VDC至+32VDC） |
| 電接口插座 | D-Sub 15 Pin，公 |
| 真空腔體 | 接口：DN16ISO-KF（其他可選）；*大承壓：1.5×10+5 Pa |
| 重量 | 250g （DN16ISO-KF法蘭） |
由于陶瓷材料的形變恢復無遲滯使得陶瓷薄膜電容規獲得高穩定、高精度。
由于氧化鋁陶瓷與氟系密封件的穩定性使得陶瓷薄膜電容規具有抗腐蝕、抗氧化能力。
由于采用機械形變傳感真空壓強使得陶瓷薄膜電容規對被測量氣體不敏感特點。
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