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化學機械拋光機 TMP-150A品牌
北京特思迪產地
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TMP-150ATMP-200A
晶圓尺寸4/6英寸
拋光盤規格OD406 mm
晶圓氣囊壓力70-500 g/cm2
保持環壓力70-700 g/cm2
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