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DH5S—MPCVD半導體級MPCVD設備品牌
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| 常規配置及參數 | |
|---|---|
| 電源輸入: | 三相 380V (±10%), 15KVA |
| 微波電源功率: | 6KW（2.45GHz） |
| 樣品臺: | 2英寸可升降水冷臺 |
| 腔體生長壓力: | 10-200Torr |
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