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采用新型微波反應腔,有效沉積面積大而均勻;掀蓋式腔體開合,便利操作及腔體清潔,生產效率高,更加適用于批量化工業產品的制備;該類型設備性能穩定可靠,具有高度的穩定性和重復性,專為高品質金剛石產品制備而設計。
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易用性
性價比
晶圓表面顆粒物快速檢測系統(PDS)
電子束光刻機
CVD 真空化學氣相沉積設備
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紅外氣體傳感器 Gasboard-2060
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