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●重復定位精度高
●安全可靠
●模塊化設計
●適用性廣
| 外形尺寸:根據客戶需求定制 | 重量:≤25Kg | 法蘭接口:CF35/CF63/CF100多種可選 |
| 開環重復定位精度:±10μm | 閉環重復定位精度:±2μm | 限位響應:≤10ms |
| 工作速度:≤6mm/s | 驅動行程:120mm或定制 | 靶數量: 3個或定制 |
| 靶類型:矯正靶/YAG/OTR | 視場:30×30或定制 | 圖像分辨率:20μm或定制 |
| 圖像數據通訊:100M以太網通信 | 環境溫度:-20°C~ 60°C | 真空參數:極限真空優于5.0X10-8 Pa |
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