優(yōu)勢(shì)

? 準(zhǔn)確度采用設(shè)定點(diǎn)精度，產(chǎn)品精度可達(dá)±1.0% S.P.，響應(yīng)時(shí)間*快≤ 0.5sec。
? CS300系列產(chǎn)品可帶有壓力補(bǔ)償功能，對(duì)前段氣體壓力的擾動(dòng)進(jìn)行有效的補(bǔ)償，減少壓力變化對(duì)瞬時(shí)流量影響，從而保證產(chǎn)品工作的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。
? 采用的恒功率傳感器原理，在溫度變化時(shí)進(jìn)行相應(yīng)的補(bǔ)償，從根本上抑制了流量計(jì)的零漂現(xiàn)象，保證了傳感器線(xiàn)性。
? 高端產(chǎn)品采用專(zhuān)門(mén)的金屬表面處理技術(shù)，與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV，CS300C產(chǎn)品金屬表面粗糙度更可達(dá)5RA以下，嚴(yán)格按照SEMI標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)制造。