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用于晶體取向測量的 SDCOM 小型衍射儀
用于單晶（晶錠和晶圓）的材料研究、生產和質量控制的臺式XRD設備。
Si | SiC | 金剛石 | AIN | GaAs | 石英 | LiNbO? | bbo | GaN 和其他一百多種材料。
SDCOM的特點
超快速測量：樣品旋轉一次（即10秒內）即可捕獲所有所需的晶體取向參數
多種樣品尺寸：可測量直徑從1mm到200mm的樣品
可對任何單晶材料進行全自動分析和取向測定
典型標準偏差 (Si 100)：傾角幅度＜0.01° ，傾角方向＜0.03°
正常運行時間：＞99%
Theta 掃描功能：用于復雜的研究和材料表征
轉移技術：實現一束切割光束中*多可處理6個定向好的晶體
可與SECS/GEM等MES集成
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2021-08-06
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