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多層熱沉是指以無氧銅為表層材料，鉬或鉬銅為中間層的三明治結構的復合材料，兼有銅的高熱導率和鉬的低熱膨脹系數，且熱膨脹系數可調。CPC(Cu-MoCu-Cu):熱沉中間層為MoCu，可做多層，一般為3層，Cu含量更多，熱導率更高。CMC(Cu-Mo-Cu):熱沉中間層為Mo，熱膨脹系數低目穩定。
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