逆流式洗滌塔，處理原理是利用氣體與液體間的接觸，而將氣體中的污染物傳送到液體中，然后再將清潔氣體與被污染的液體分離，達到清凈空氣的目的。廢氣經由填充式洗滌塔，采用氣液逆向吸收方式處理，即液體自塔頂向下以霧狀（或小液滴）噴撒而下。廢氣則由塔體（逆向流）達到氣液接觸之目的。此處理方式，可冷卻廢氣、調理氣體及去除顆粒，再經過除霧段處理后（水氣去除率可達99%），排入大氣中。

      濕式洗滌處理方式將可處理廢氣中0.3-1um以上之微粒狀物，同時也可去除廢氣中之氣態污染物，其基本原理是利用氣體與液體間的有效接觸，達到液體吸收氣體中的污染物之目的，然后再將清潔之氣體與被污染的液體分離達到清潔空氣的目的。