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在MOCVD反應器的廣泛鍍膜過程中，行星基座或載體會移動襯底晶片。基座材料的性能對涂層質量有很大影響，進而影響芯片廢品率。
我們的碳化硅涂層基座提升了高品質LED晶圓的制造效率，將波長偏差降至*低。
我們還為目前使用的所有MOCVD反應器提供其他石墨部件。我們可以為幾乎所有部件涂上碳化硅涂層，即使部件直徑超過1米（3‘），我們依然能夠進行碳化硅涂層。
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