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| 無水氟化氫（HF） | |
| 化學式 | HF |
| 中文名稱 | 氟化氫 |
| 英文名稱 | Hydrogen fluoride |
| CAS No. | 7664-39-3 |
| 分子量 | 20.0064 |
| 充裝系數 | 0.83kg/L |
| 應用 | 在MEMS 的蝕刻工藝中，高純度無水氟化氫（HF）與二氟化氙(XeF2)用于去除硅的犧牲區域。 |
| 產品規格 | ≥99.9%~≥99.999% |
百科：
工業無水氟化氫是一種用途廣泛的化工產品，外觀為無色發煙液體的99%以上的氫氟酸，在減壓或高溫下易氣化。主要用作制取氟鹽、氟鹵烷烴、氟致冷劑、腐蝕玻璃、浸漬木材、電解元素氟等。
無水氟化氫也稱為無水氫氟酸，與一般氫氟酸不同，一般氫氟酸是氟化氫氣體溶解于水所形成的酸液，氟化氫是氣體,是純凈物。氫氟酸是混合物。
無水氟化氫，高純度，常溫下為氣體，如果是特殊情況也能使液體和固體。
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