功率（kw）：
-重量（kg）：
-規格外形（長*寬*高）：
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碳化硅PVD載盤經等靜壓工藝成型、高溫燒結而成。亦可根據用戶設計圖紙要求進行外徑、厚度尺寸，穴位數量、尺寸、取片槽位置和形狀進行精加工，以滿足用戶的具體使用要求
特點和優勢
高致密性
良好的導熱性、低膨脹系數和均溫性能
耐電漿沖擊性
耐各種強酸強堿化學試劑腐蝕
經過半導體級別清洗
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