微孔真空陶瓷工作盤是各種半導(dǎo)體片生產(chǎn)過(guò)程中用于吸附及承載的專用工具，應(yīng)用于減薄、劃片、清洗、搬運(yùn)等工序。

高致密性陶瓷真空吸盤(多孔陶瓷真空吸盤)，特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米，不易阻塞真空力大，部份面積吸附, 同時(shí)也可作氣浮平臺(tái)，廣泛應(yīng)用半導(dǎo)體、面板、雷射制程及非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤是密封的空氣來(lái)維持傳輸，裝置應(yīng)用僅限用于平坦，無(wú)孔表面的工作平臺(tái)。使用者通常是機(jī)器操作員。 在金屬加工領(lǐng)域，這是一項(xiàng)安全可靠的工件傳輸。

自動(dòng)化搬運(yùn)、對(duì)象吸取、定位、精密網(wǎng)板印刷用工作臺(tái)，利用孔洞透氣性陶瓷(氧化鋁或碳化硅)接上真空吸力，將工作物（包括晶圓、玻璃、PET 膜或其他薄型工作物）放置陶瓷工作吸盤上，利用真空吸力使工作物固定，進(jìn)行清洗、切割、研磨、網(wǎng)版印刷及其他加工程序。

加工對(duì)象：2、3、4、5、6、8、12英寸的半導(dǎo)體片。

吸盤類型：微孔陶瓷。

主要特點(diǎn)：平面度、平行度好，組織致密均勻、強(qiáng)度高、通透性好、吸附力均勻。