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-適用物料：
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?防止真空回路及空氣中的污染物對元件設備造成影響。
?濾芯過濾面積大。
| 系列 | 連接口徑 | 流量 L/min（ANR） | 過濾精度(μm) |
|---|---|---|---|
| ZFA10 | 1/8 | 50 | 30 |
| ZFA20 | 1/4 | 200 | 30 |
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