儀器簡介：電子束入射到樣品上，即可用光學(xué)方法接收并分析陰極發(fā)光（CL），從而提供樣品詳細的物理特性。它是一種無損的分析方法，結(jié)合電鏡可提供與形貌相關(guān)的高空間分辨率光譜結(jié)果，是納米結(jié)構(gòu)和體材料的獨特分析工具。

HCLUE是一款基于反射鏡耦合優(yōu)化的CL系統(tǒng)，結(jié)合了Jobin Yvon光譜技術(shù)制造的光譜儀模塊，具有高靈敏度性能，適用于弱信號測量。可同時配備兩個探測器，以獲得更大光譜范圍。

原理圖主要特點：● 反射鏡直接耦合

● 高靈敏度

● 掃描成像、線掃描、點測量

● 多種光柵選項

● 多種焦長光譜儀選項：320mm-550mm

● 可配雙探測器以獲得**光譜范圍：185nm-2500nm

重點應(yīng)用領(lǐng)域： 陰極發(fā)光光譜儀（CL）是用來表征材料中的缺陷，元素和雜質(zhì)追蹤的強大分析工具，廣泛適用于各個應(yīng)用領(lǐng)域。

1、材料科學(xué)

● 半導(dǎo)體和光電材料

● 介電/陶瓷

● 氧化物膜

● 玻璃

2、礦物、地質(zhì)

● 碳酸巖

● 晶體

● 金剛石

● 鋯石、方解石、白云石

3、生命科學(xué)

4、公安

CL光譜及成像：