概要CS-131是半導體制造中清洗工藝的SC-1溶液用于高精度藥液濃度的監測儀，實現了過去所沒有的高速響應性和小巧化。可以常時間的監測微粒以及有機物的清除作業中所使用的SC-1溶液(NH3/H2O2/H2O)各成分濃度。通過使用監測輸出的回收控制，可以確保SC-1溶液的濃度在允許范圍內，同時，還可以避免不必要的更換藥液工作。并且，冷卻器一體型也進入了產品陣容內，可適用較大范圍的樣品溫度。

技術參數：

特點

監測周期大約為2秒，支持300mm工藝的濃度管理

實現了以大約2秒為監測周期(※)的高速響應。支持向批次式和單槽式清洗裝置定時反饋濃度信息。(※不包含藥液的置換時間、冷卻時間)

小巧化設計有利于節省清洗裝置的空間

由于底面面積只有原來的2/3(※)左右，這種小巧化設計有利于清洗裝置節省空間。可以很容易地組裝到清洗裝置中。

(※和本公司產品CS-220系列進行比較)

通過減少清洗工藝中的批次不良，提高產量

通過濃度計的信號輸出，進行SC-1溶液的補給控制，從而實現高再現性的清洗。減少清洗工藝中的批次不良，從而推進產量的全面提高。

全自動監測與簡易控制

用戶只需引入SC-1溶液即可。監測是全自動方式，因此開始監測后不需要進行任何控制。另外，由于參照光譜測量時使用的是空氣，所以不需要用水。

通過采取全面的氣泡對策，可監測高溫樣品

在脫泡槽中分離氣泡，在監測過程中進一步利用電磁閥把氣泡混入監測單元內的發生次數抑制在*低限度。并且，如果是冷卻器一體型產品，則可以直接倒入高溫度樣品至濃度計。溫度補償將自動進行。

采用DC24V，實現高安全性

電源采用DC24V低壓電，提高了安全性以避免觸電事故的發生。并且，由于內置漏水傳感器，在發生漏水時可以切斷SC-1溶液的供應等，采取緊急措施。

SC-1濃度計

CS-131

技術規格

型號和規格

CS-131：無冷卻器

CS-131C：冷卻器一體型

監測對象

SC-1(氨/過氧化氫水溶液)

測量原理

吸收光譜測定法

濃度計算的原理

溫度補償型多變量解析法

監測范圍

氨：0.00〜1.00% / 0.00〜3.00% / 0.00〜5.00%

過氧化氫：0.00〜5.00% / 0.00〜7.00% / 0.00〜10.00%

水：94.0〜 100% / 90.0〜 100% / 85.0〜100%

再現性

氨： ±0.15% / ±0.2% / ±0.25%

過氧化氫： ±0.3% / ±0.3% / ±0.3%

水　　　　： ±1.5% / ±1.5% / ±1.5%

藥液條件 溫度

CS-131：20〜30℃

CS-131C：20〜80℃

藥液條件 流量

CS-131：20〜60mL/min

CS-131C：20〜40mL/min

藥液條件 壓力

0.10〜0.20MPa

監測周期

*小約2秒(不包含藥液的置換時間・冷卻時間)

設置溫度

20〜25℃

操作面板

1)溫度檢測值的顯示：氨、過氧化氫、水

2)報警信號的顯示(氨、過氧化氫)：濃度下下限、濃度下 限、濃度上限、濃度上上限

3)報警信號值的設定(氨、過氧化氫)：濃度下下限、濃度下限，濃度上限、濃度上上限

串行輸入

RS-232C

1)濃度數據：氨、過氧化氫、水

2)報警信號值的設定(氨、過氧化氫)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限

并行輸入

DC12〜30V(光電耦合器絕緣)

并行溫度報警(有效/無效)

并行輸出

開路集電極輸出為ON 時的**電流：5mA、為OFF時的**電壓：30V

1)報警信號輸出(氨、過氧化氫)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限

2)裝置異常

3)漏液

模擬輸出

4〜20mA(2輸出：NH3濃度、H2O2濃度的2輸出)

＊與量程規格技術規格無關，可以使4〜20mA輸出對應于0〜10%濃度。(請在訂貨時指定)

電源

DC24V±10%， 2A

外形尺寸

CS-131：205(W)×329(D)×269(H)mm

CS-131C：291(W)×329(D)×269(H)mm

質量

CS-131：約11kg

CS-131C：約12kg

連接配管尺寸

導入用、排出用外徑均為3mm(內徑均為2mm)

配管接頭

Nippon Pillar Super型

主要特點：

特點

監測周期大約為2秒，支持300mm工藝的濃度管理

實現了以大約2秒為監測周期(※)的高速響應。支持向批次式和單槽式清洗裝置定時反饋濃度信息。(※不包含藥液的置換時間、冷卻時間)

小巧化設計有利于節省清洗裝置的空間

由于底面面積只有原來的2/3(※)左右，這種小巧化設計有利于清洗裝置節省空間。可以很容易地組裝到清洗裝置中。

(※和本公司產品CS-220系列進行比較)

通過減少清洗工藝中的批次不良，提高產量

通過濃度計的信號輸出，進行SC-1溶液的補給控制，從而實現高再現性的清洗。減少清洗工藝中的批次不良，從而推進產量的全面提高。

全自動監測與簡易控制

用戶只需引入SC-1溶液即可。監測是全自動方式，因此開始監測后不需要進行任何控制。另外，由于參照光譜測量時使用的是空氣，所以不需要用水。

通過采取全面的氣泡對策，可監測高溫樣品

在脫泡槽中分離氣泡，在監測過程中進一步利用電磁閥把氣泡混入監測單元內的發生次數抑制在*低限度。并且，如果是冷卻器一體型產品，則可以直接倒入高溫度樣品至濃度計。溫度補償將自動進行。

采用DC24V，實現高安全性

電源采用DC24V低壓電，提高了安全性以避免觸電事故的發生。并且，由于內置漏水傳感器，在發生漏水時可以切斷SC-1溶液的供應等，采取緊急措施。

SC-1濃度計

CS-131

技術規格

型號和規格

CS-131：無冷卻器

CS-131C：冷卻器一體型

監測對象

SC-1(氨/過氧化氫水溶液)

測量原理

吸收光譜測定法

濃度計算的原理

溫度補償型多變量解析法

監測范圍

氨：0.00〜1.00% / 0.00〜3.00% / 0.00〜5.00%

過氧化氫：0.00〜5.00% / 0.00〜7.00% / 0.00〜10.00%

水：94.0〜 100% / 90.0〜 100% / 85.0〜100%

再現性

氨： ±0.15% / ±0.2% / ±0.25%

過氧化氫： ±0.3% / ±0.3% / ±0.3%

水　　　　： ±1.5% / ±1.5% / ±1.5%

藥液條件 溫度

CS-131：20〜30℃

CS-131C：20〜80℃

藥液條件 流量

CS-131：20〜60mL/min

CS-131C：20〜40mL/min

藥液條件 壓力

0.10〜0.20MPa

監測周期

*小約2秒(不包含藥液的置換時間・冷卻時間)

設置溫度

20〜25℃

操作面板

1)溫度檢測值的顯示：氨、過氧化氫、水

2)報警信號的顯示(氨、過氧化氫)：濃度下下限、濃度下 限、濃度上限、濃度上上限

3)報警信號值的設定(氨、過氧化氫)：濃度下下限、濃度下限，濃度上限、濃度上上限

串行輸入

RS-232C

1)濃度數據：氨、過氧化氫、水

2)報警信號值的設定(氨、過氧化氫)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限

并行輸入

DC12〜30V(光電耦合器絕緣)

并行溫度報警(有效/無效)

并行輸出

開路集電極輸出為ON 時的**電流：5mA、為OFF時的**電壓：30V

1)報警信號輸出(氨、過氧化氫)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限

2)裝置異常

3)漏液

模擬輸出

4〜20mA(2輸出：NH3濃度、H2O2濃度的2輸出)

＊與量程規格技術規格無關，可以使4〜20mA輸出對應于0〜10%濃度。(請在訂貨時指定)

電源

DC24V±10%， 2A

外形尺寸

CS-131：205(W)×329(D)×269(H)mm

CS-131C：291(W)×329(D)×269(H)mm

質量

CS-131：約11kg

CS-131C：約12kg

連接配管尺寸

導入用、排出用外徑均為3mm(內徑均為2mm)

配管接頭

Nippon Pillar Super型