儀器簡介：

軟X射線探測器分為AXUV系列，SXUV系列 ，UVG系列 這三個系列，其中AXUV系列適用于真空紫外、極紫外和軟X射線探測器。SXUV系列探測器是專門為高通量的光子探測設計的，如配合使用在第三和第四代同步加速器和準分子激光器。該系列二極管由超大規模集成電路制造而成。UVG系列PN結光電探測器可以實現100%的光生載流子收集效率，所以被使用在近紫外和真空紫外（600--160nm）。

技術參數：

AXUV系列

AXUV系列適用于真空紫外、極紫外和軟X射線探測器，由于不同于常見的pn結二極管，這些二極管沒有摻雜死區，加之零表面復合處理，可以在紫外/極紫外范圍內，達到理想化的100%內部量子效率轉化。

IRD還提供與Cr，W，Au，Fe，Al等濾光片耦合的探測器，可以達到探測指定波長的效果。

SXUV系列

由于在硅PN結光電二極管前耦合鉑硅化物入射窗，使得探測器可以探測超紫外光子（能量范圍4ev—12KeV）。這些探測器是專門為高通量的光子探測設計的，如配合使用在第三和第四代同步加速器和準分子激光器。該系列二極管由超大規模集成電路制造而成。

IRD還提供與Zr，Si3N4，Si，SiC，Mo，Al濾光片耦合的探測器，可以達到探測指定波長的效果。

當脈沖能量超過20mJ，IRD還開發了帶衰減器的探測器，以減少UV/EUV脈沖射線對探測器的沖擊。

UVG系列

UVG系列PN結光電探測器可以實現100%的光生載流子收集效率，所以被使用在近紫外和真空紫外（600--160nm）。與傳統的二極管不同的是，這些二極管沒有摻雜死區，加之零表面復合處理，可以在紫外/極紫外范圍內，達到理想化的100%內部量子效率轉化

主要特點：

1.軟X射線可直接照射探測器，無需閃爍晶體做轉換

2.按可檢測X射線能量范圍不同及應用的需要，分為AXUV，UVG和SXUV三大產品系列，*低可檢測0.04nm的軟X射線

3.快速響應的探測器，響應速度達到ps量級

4.多元陣列，積分放大電路，并可根據需要集成帶通濾光片

5.四象限位置傳感器（Quadrant PSD）