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日立高新離子研磨裝置IM4000
日立高新離子研磨裝置IM4000

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日本

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日立科學儀器(北京)有限公司

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日立高新離子研磨裝置IM4000(HITACHI Ion Milling System IM4000 )具有斷面加工和平面研磨功能的混合儀器!

  • 日立高新離子研磨裝置IM4000(HITACHI Ion Milling System IM4000 )混合模式帶有兩種研磨配置:

    斷面加工:將樣品斷面研磨光滑,便于表面以下結構高分辨成像。

    平面研磨:將樣品表面均勻研磨5平方毫米,從不同角度有選擇地研磨,以便突出樣品的表面特性。

  • 日立高新離子研磨裝置IM4000(HITACHI Ion Milling System IM4000 )高通量能提高加工效率:

    與之前的E-3500型相比,采用新型離子槍設計,減少了橫截面研磨時間。

    (**加工率:硅元素為300微米/小時 — 加工時間減少了66%。

  • 日立高新離子研磨裝置IM4000(HITACHI Ion Milling System IM4000 )可拆卸樣品臺裝置:

    為便于樣品設置和定義研磨邊緣,可將樣品臺裝置拆卸。

特點

  • 混合模式:兩種研磨配置

    斷面加工:將樣品斷面研磨光滑,便于表面高分辨觀察

    平面研磨:不同角度有選擇地,大面積,均勻地研磨5 mm的平面,以突顯樣品的表面特性

  • 高效:提高加工效率

    與之前的E-3500型相比,采用新型離子槍設計,減少了橫截面研磨時間

    (**加工速度:硅材質為300 μm/h - 加工時間減少了66%)

  • 可拆卸式樣品臺:

    為便于樣品設置和邊緣研磨,樣品臺設計為可拆卸型

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