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德國Phystech RH2030霍爾效應(yīng)測試儀
德國Phystech RH2030霍爾效應(yīng)測試儀

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PHYS TECH GmbH RH2035 霍爾效應(yīng)測試儀器

1.設(shè)備名稱:霍爾效應(yīng)測試儀
2.功能描述:測量半導(dǎo)體薄膜中載流子類型、載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等參數(shù)
3.技術(shù)參數(shù):
3-1測試范圍:Si, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN (N Type & P Type)等材質(zhì)的半導(dǎo)體薄膜中載流子類型、載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等參數(shù)
3-2磁場:
3-2-1磁場強度:1T 電磁體
3-2-2磁場類型:電磁體
3-2-3磁場均勻性:磁場不均勻性<±1 %

10年內(nèi)磁場變化<±0.2%

3-3溫 度:
3-3-1溫度區(qū)域:77K(液氮溫度)或室溫
3-4電阻率范圍:1 µ Ohm*cm ~10 M Ohm*cm
3-5電阻范圍:0.1 m Ohms ~10 G Ohms
3-6載流子濃度:107~1021cm-3
3-7遷移率:10-2~107 cm2/volt*sec
3-8輸入電流:
3-8-1電流范圍:1000 pA~10mA
3-8-2電流解析度:25 pA (lowest range)
3-8-3電流精度:2%
3-9輸入電壓:
3-9-1電壓范圍:±10V
3-9-2電壓分辨率:1μV
4.儀器特點:
4-1Automatic contact check

自動接觸檢查(歐姆接觸)

4-2Routine and enhanced software

常規(guī)和增強軟件

4-3Differential resistivity measurements by I/V-curves

I/V曲線測試電阻率差異

4-4Misalignment voltage compensation

失調(diào)電壓補償

4-5Correction of slow sample drift voltage, especially for ZnO,

修正慢樣品漂移電壓,特別是氧化鋅

4-6Automatic field calibration

自動現(xiàn)場標(biāo)定

4-7Large concentration and resistivity range

大濃度和電阻率范圍

4-8Flexible, modular hardware

靈活的模塊化硬件

4-9Support of various magnets, for example BioRad HL 5200

支持多樣磁場

4-10Support of various temperature controllers

支持各種溫度控制器(支持客戶自行升級變溫系統(tǒng))

5硬件
5-1The standard system consists of a bench top electronic system, a small magnet and a sample stage for room temperature and LN2 measurements.

標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)包含電子測試系統(tǒng)、磁場和兩個溫度區(qū)域的測試平臺(室溫和液氮溫度)

5-2The electronics include the current source, the voltage measurement part, the contact switching module and the IEEE or RS232 interface. It is completely micro processor controlled.

電子測試系統(tǒng)包括由單片機控制的電流源、電壓測試、接觸開關(guān)模塊、IEEE或RS232接口

5-3The contact switching module is designed to allow all possible measurement configurations.

接觸開關(guān)模塊支持所有用戶用于其他的配置(用戶可以采用制冷機做變溫霍爾測試)

5-4The current source has adjustable limits for voltage and/or power. {+++}

電流源具有可調(diào)電壓和/或電源的限制

5-5Voltage measurement provides different input amplifiers optimized for either low current or low voltage applications.

電壓測量提供了不同的輸入放大器或低電流或低電壓應(yīng)用的優(yōu)化。

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