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·即使對于懸浮液也可實現(xiàn)無損失的研磨
·可達到良好的*終精度<1 µm
·可重復(fù)的研磨結(jié)果
·可程序化的重復(fù)99次研磨循環(huán)
·供程序化研磨循環(huán)操作數(shù)據(jù)輸出的RS232接口（確認）
·共有8種不同材質(zhì)的分析級純度的研磨材料可供選擇，可實現(xiàn)無污染的研磨
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