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LIMO光束傳輸系統
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德國

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北京歐屹科技有限公司

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LIMO光束傳輸系統

LIMO LD Ba —BTS光束傳輸系統

LIMO光束傳輸系統簡介:

德國Limo公司是世界**的微光學(Micro-optics)產品和半導體激光器(Diode Laser)的供應商,其微光學技術是業內公認的世界**,微光學產品的應用涵蓋半導體激光準直、耦合透鏡;高端激光微細加工光束的整形鏡;光刻機上的核心光束均勻化物鏡。

光束傳輸系統主要功能是將二極管Bar輸出的極端不對稱的光束轉變為基本對稱光束,這樣就可以使用一個對稱聚焦的集成光束鏡去準直或聚焦這束光, LIMO的快軸準直器有以下多種型號可供選擇。

發光尺寸/周期(um)

快軸發散角(FW@1/e2)

波長范圍(nm)

產品型號

150/500

<8mrad

790-990

BTS-123

150/500

<12mrad

790-990

BTS-106

200/400

<12mrad

790-990

BTS-101

150/500

<15mrad

790-990

BTS-109

100/500

<6mrad

790-990

CBTS-475

150/500

<8mrad,<12mrad,<15mrad

600-1600

CBTS

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10分

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10分

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