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反射式膜厚測量儀
反射式膜厚測量儀

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日本

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上海瞬渺光電技術有限公司

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產品特點:

? 非接觸式、不破壞樣品的光干涉式膜厚計。

? 高精度、高再現性測量紫外到近紅外波長反射率光譜,分析多層薄膜厚度、光學常數(n:折射率,k消光系數)。

? 寬闊的波長測量范圍。(190nm-1100nm)

? 薄膜到厚膜的膜厚測量范圍。1nm~250μm

? 對應顯微鏡下的微距測量口徑。

產品規格:

標準型

厚膜專用型

膜存測量范圍

1nm~40μm

0.8μm~250μm

波長測量范圍

190~1100nm

750~850nm

感光元件

PDA 512ch(電子制冷)

CCD 512ch(電子制冷)

PDA 512ch(電子制冷)

光源規格

D2(紫外線)、12(可見光)、D2+12(紫外-可見光)

12(可見光)

電源規格

AC 100V±10V 750VA(自動樣品臺規格)

尺寸

4810(H)×770(D)×714(W)mm(自動樣品臺規格之主體部分)

重量

約96kg(自動樣品臺規格之主體部分)

應用范圍:

FPD

-LCD、TFT、OLED(有機EL)

半導體、復合半導體

-矽半導體、半導體鐳射、強誘電、介電常數材料

資料儲存

-DVD、磁頭薄膜、磁性材料

光學材料

-濾光片、抗反射膜

平面顯示器

-液晶顯示器、膜膜電晶體、OLED

薄膜

-AR膜

其他

-建筑用材料

測量范圍:

玻璃上的二氧化鈦膜厚、膜質分析

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產品質量

10分

售后服務

10分

易用性

10分

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10分
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