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MSA-600顯微式激光測振儀
產品特點：
• 集多功能于一體的光學測量工作站
• 真正的實時測量，無需數據后處理
• ****的亞pm位移分辨率
• 測量速度快，振型可視化顯示
• 操作界面直觀友好
• 全自動化測量，易于集成至商用探針臺上
技術參數：
• 微型結構的面外振動，測量單點振動或者兩點間的相對振動
如：梳齒驅動器、射頻MEMS開關、FEM有限元模型驗證、CMUT、PMUT超聲換能器、MEMS薄膜壓力傳感器、PZT壓電懸臂梁等
• 微型結構的面內振動
如：梳齒驅動器、MEMS扭轉激振器、壓電陶瓷制動器的橫向運動
• 微型結構的表面形貌
如：梳齒驅動器、微型齒輪、微流量傳感器、懸臂梁等表面形貌
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