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日本

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日本分光制的橢圓計配有日本分光**產的PEM雙重鎖定方式和光伺服?光參考方式,實現高速性和高安定性。由于偏光素子的軸配置適合特別薄的膜和微小的偏光測量,所以主要用于向高集積化和高精細化發展的半導體及高機能光學薄膜等材料的評價。

規格

型號

M-210

M-220

M-230

M-240

M-550

ELC-300

測量方法

PEM雙重鎖定方式、光伺服/參照控制方式

分光器

-

雙單色器自動波長驅動裝置

雙單色器

260900nm單單色器

9001700nm自動波長驅動裝置

單單色器自動驅動裝置

雙單色器自動波長驅動裝置

測量波長

He-Ne激光 (632.8nm)

He-Ne激光 (632.8nm)

Xe光源 (260860nm)

He-Ne激光 (632.8nm)

Xe光源

(240700nm)

He-Ne激光 (632.8nm)

Xe光源

(26900nm)鹵素燈

(9001700nm)

Xe光源 (350800nm)

He-Ne激光 (632.8nm)

Xe光源 (260860nm)

入射  角范圍

40゜~ 90連續自動設定0.01間隔

45゜~ 90連續自動設定0.01間隔

40゜~ 90連續自動設定0.01間隔

膜厚測量范圍

099999?

測量時間

1msec以上

20μsec16sec

測量準確度*

屈折率 ±0.01

膜厚 ±1?

消衰係數 ±0.01

*準確度是指測量時間100msec以上。另外、根據表面狀、膜質不同準確度也不同

樣品室

樣品垂直放

樣品水平放

樣品垂直放

檢測器

光子(Glan-Taylor棱鏡紫外可見區域:光子倍増管 近紅外區域InGaAs-PIN電二極管M-240

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產品質量

10分

售后服務

10分

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10分

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10分
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