Filmetrics 薄膜厚度測量儀測厚儀

F80-C膜厚測量儀使生產晶片的測量變得簡單實惠

工藝工程師希望薄膜厚度測量是快速容易的，現在高精度的厚度成像技術讓 Filmetrics 可以快速建立配方，并且擁有行業**的測試速度，而且價格僅僅是同行業測量設備的小部分。 F80 可以應用在化學機械拋光、化學氣相沉積、蝕刻等工藝中，這是晶片追索工藝工程師所期待的。

新技術= 低成本

與傳統的測量工具不同， F80 不需要高精度的移動硬件去找尋微小的測試 pads，相反的，它可以快速的測量每個 pad 附近數以千計點的厚度，然后處理“厚度成像”結果，進而找到正確的厚度?？梢杂行У奶鎿Q昂貴的移動硬件，進而節約很高的成本。

使用****的方便

因為使用厚度成像技術， F80 不依賴過時的基于視頻的圖像識別技術，這意味著在 CMP 應用中通常會遇到的前后表面光對照比不同的問題，在 F80 系統中是不存在的。 也意味著配方的建立更自動化和直觀，數據可以及時存，從而節省了時間，訓練及減少誤操作引發的錯誤。

快速

因為厚度成像技術， 300 毫米晶片在 F80 上掃描 21 點僅僅只需要 29 秒的時間，非?？焖?。

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