體質量流量控制器（流量計）（Mass gas flow controller（meter））縮寫為MFC(MFM)）是對氣體的質量流量進行精密測量和控制的設備。

S49 32/MT質量流量控制器(流量計)特點：

*閥體采用不銹鋼（316L）結構，與氣體接觸部分采用鐵素體高耐腐蝕軟磁不銹鋼、VITON®、聚四氟乙烯等。線路板、閥體、彈簧片、精密電阻和resistor等為重要零部件，均執行嚴格的入廠標準。

*適用于各種腐蝕性氣體

*氣體流量不因溫度、壓力的變化而失準 *高精度 *重復性好 *響應速度快、軟啟動、穩定可靠 *低壓降

*工作壓力范圍寬（可以在高壓或真空條件下工作）。

*操作使用方便，可任意位置安裝

*便于與計算機連接實現自動控制。