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AS-One系統(tǒng)有兩種型號(hào)： AS-One 100 系統(tǒng)或AS-One 150 系統(tǒng)
該快速退火爐是專門為滿足大學(xué)、研究實(shí)驗(yàn)室和小規(guī)模生產(chǎn)的需求而研制的，高可靠且性價(jià)比高。
該工藝室采用貝殼式設(shè)計(jì)，可完全進(jìn)入底板，方便裝載和卸載基板，并允許實(shí)際清潔腔體
快速數(shù)字PID溫度控制器在整個(gè)溫度范圍內(nèi)提供精確和可重復(fù)的熱控制。
| 特征： | |
| 基本尺寸： | Up to 直徑100 mm (4-inch) for AS-One 100 Up to 直徑150 mm (6-inch) for AS-One 150 Small substrates using susceptors |
| 工藝腔體 | 運(yùn)用不銹鋼冷腔室壁技術(shù) |
| 溫度范圍 | 標(biāo)準(zhǔn)配置：**達(dá)到1250°C 高溫配置：**達(dá)到1450°C |
| 溫度控制 | 標(biāo)準(zhǔn)配置：熱電偶和高溫計(jì)用來(lái)測(cè)量溫度 快速數(shù)字PID溫度控制器在可獲得精確的和可重復(fù)的熱控制 |
| 真空和氣體 | *多可達(dá)5路帶MFC的工藝氣體，一路清潔氣體 |
| 電腦控制 | 全PC電腦控制，每個(gè)配方*多100步驟 全數(shù)據(jù)記錄與處理歷史的人機(jī)界面設(shè)計(jì) |
| 選項(xiàng)： | |
石墨托盤/碳化硅涂層托盤/粗真空泵和渦輪泵/快速冷卻系統(tǒng)/其他套件 | |
| 應(yīng)用： | |
● 快速熱退火
● 快速熱氧化
● 擴(kuò)散/接觸時(shí)退火
● 化合物退火
● 結(jié)晶或致密化
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