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半導體產業蝕刻清洗專用的聚氯乙烯制通風柜
特點
•可以在通風柜下臺裝入恒溫水循環裝置進行使用。
•內、外裝都是使用硬質聚氯乙烯，*適合使用酸、堿等的蝕刻清洗。
•通過采用阻流板可以很好的排出比重較大的氣體。
共通規格
內外裝 | 硬質聚氯乙烯材料 5mm厚 |
操作臺面（選定） | 硬質聚氯乙烯材料 5mm厚 |
門 | 透明聚氯乙烯材料 5mm厚 |
水栓 | 120型：2個（自來水、純水用各1個） 150/180型：4個（自來水、純水用各2個） |
插座 | AC220V 10A，2個 |
熒光燈 | 120/150型30W、180型40W各一個 |
規格
型號 | FHV-120 | FHV-150 | FHV-180 | |
外形尺寸 | 深×高 | 750×1850mm | ||
寬 | 1200mm | 1500mm | 1800mm | |
重量 | 約200kg | 約230kg | 約250kg | |
排氣風量 | 10m3/min | 13m3/min | 15m3/min | |
機內靜壓（推薦值） | 50Pa（5mmH2O） | 59Pa（6mmH2O） | 40Pa（4mmH2O） | |
機型一覽表
無排風機 | FHV-120 | FHV-150 | FHV-180 |
有排風機 | FHV-120B | FHV-150B | FHV-180B |
陶瓷鋼板（K） | FHV-120K | FHV-150K | FHV-180K |
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