MDPinline ingot系統(tǒng)是世界上*快的多晶硅晶錠電學(xué)參數(shù)特性測量工具。它是專為高通量工廠的單塊晶錠測試而研發(fā)的。每塊晶錠可以在不到一分鐘時間里就完成其四個面的檢測，且所有的圖譜(壽命，光電導(dǎo)率，電阻率)都可以同時進(jìn)行測量。

該系統(tǒng)包括一個數(shù)據(jù)庫和相關(guān)的統(tǒng)計數(shù)據(jù)評估，可自動確定精確的切割位置，以提高成品率。主要用于材料質(zhì)量監(jiān)控，爐選擇和工藝改進(jìn)。

性能▼

l 無接觸、無破壞的半導(dǎo)體特性

l 少數(shù)載流子壽命的檢測能力

l 先進(jìn)的靈敏度讓所有隱形缺陷可視化

l 自動切割標(biāo)準(zhǔn)定義

l 獲取體材料性質(zhì)的穩(wěn)態(tài)測量

l 完全自動化的內(nèi)聯(lián)集成

l 對太陽能級硅錠進(jìn)行掃描，1mm分辨率

l 測量時間:1分鐘內(nèi)完成晶錠的面掃描，可自動測量所有4個面

Automated determination of cut off criteria

優(yōu)勢▼

l 保持著先進(jìn)光伏晶圓廠多晶硅晶錠在線特性快速檢測的世界記錄。

l 在1分鐘內(nèi)完成分辨率大于1mm成像掃描測試，同時可完成電導(dǎo)類型轉(zhuǎn)變的空間分布掃描和電阻率的

l 線掃描測試。客戶定義的切割標(biāo)準(zhǔn)可以傳輸?shù)骄A廠數(shù)據(jù)庫，該數(shù)據(jù)庫允許對下一代光伏晶圓廠進(jìn)行完全自動化的材料監(jiān)控。

l 對爐料進(jìn)行質(zhì)量控制和爐況監(jiān)測，并進(jìn)行失效分析。特殊的“underneath the surface”測量技術(shù)大大減少了表面重組造成的數(shù)據(jù)失真。

Recognition of cracks， chunks etc.

Automated cut criteria definition， lifetime map

技術(shù)參數(shù)▼