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Ellutia高純氣/特氣分析儀可提供一整套氣體混合物的分析方法，檢測(cè)限可達(dá)ppb級(jí)（<50ppb），既可用于檢測(cè)常見(jiàn)的He、H2，Ar，N2，CO2中的微量雜質(zhì)，還可分析特種氣體如HCL，SiH4，BCL3，N2O，CF4等。根據(jù)不同應(yīng)用要求，實(shí)現(xiàn)客戶化定制。
產(chǎn)品特點(diǎn)
實(shí)現(xiàn)多種氣體高靈敏度檢測(cè)
氦氣吹掃，避免與空氣接觸所引起的外界污染
精密防泄露裝置，避免潛在污染
配備高純氣吸氣劑，去除微量雜質(zhì)
尺寸規(guī)格小，不占據(jù)實(shí)驗(yàn)室空間
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