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主要特點：
◆ 超高速測量，采用無摩擦的線性驅動系統
◆ 三維幾何自動化測量，輪廓圖象處理系統，用于常規幾何和自由曲面的自動測量
◆ 模快化構造能夠快速適用于不同的測量任務
◆ Z軸快速成像自動聚焦系統，高速CNC連續路徑控制
◆ 無畸變遠心光學系統(0.2x-100x），可選用變焦光學系統
◆ 可選配接觸式測頭、點激光、線激光各種傳感器
技術參數：
| 型號 | Inspector FQ | |
| 測量范圍 | (X-軸) | 400-1000mm |
| (Y-軸) | 400-1000mm | |
| (Z-軸) | 200-300mm | |
| **允許測量誤差 | (E1單軸精度） | (2.5+L(mm)/120)μm |
| (E2平面精度） | (2.9+L(mm)/100)μm | |
| (E3空間精度） | (4.5+L(mm)/75)μm | |
| 固定鏡頭 | 0.2X-100X | |
| 分辨率 | 0.2μm | |
| 工作臺承重 | 150kg（300kg可選） | |
| 定位速度 | 1m/s | |
| 加速度 | 10m/s2 | |
| 頻率 | 48-62Hz | |
| 儀器重量 | 1500-6000kg | |
| 精度保證環境條件 | 20℃±2 o Δ=1o/h | |
| 適用溫度 | 10-35℃ | |
可選配**Werth Zoom高放大倍率(0.68-6.8X或1-10X)，大工作距離(80mm標準或20mm-220mm可變)十級自動變焦系統，更高測量精度可選
依據標準 ISO 10360 和 VDI/VDE 2617
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