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美Nano-master兆聲晶圓清洗機SWC-4000
美Nano-master兆聲晶圓清洗機SWC-4000

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德國

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深圳市藍星宇電子科技有限公司

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美Nano-master兆聲晶圓清洗機SWC-4000

產品特點:

SWC-4000兆聲晶圓清洗機:Nano-Master兆聲單晶圓及掩模版清洗機提供高可重復性、高均勻性及Z先進的兆聲清洗。它可以在一個工藝步驟中包含了**的無損兆聲清洗、化學試劑清洗、刷子清洗以及干燥功能。

SWC-4000兆聲晶圓清洗機應用:

。帶圖案或不帶圖案的掩模版和晶圓片

。Ge, GaAs以及InP晶圓片清洗

。CMP處理后的晶圓片清洗

。晶圓框架上的切粒芯片清洗

。等離子刻蝕或光刻膠剝離后的清洗

。帶保護膜的分劃版清洗

。掩模版空白部位或接觸部位清洗

。X射線及極紫外掩模版清洗

。光學鏡頭清洗

。ITO涂覆的顯示面板清洗

。兆聲輔助的剝離工藝

特點:

。支持12"直徑的圓片或9"x9"方片

。獨立系統

。無損兆聲,試劑,毛刷清洗及旋轉甩干

。微處理機自動控制

。化學試劑滴膠單元

。溶劑與酸分離排廢

。熱氮

。30"D x 26"W 的占地面積

選配項:

。掩模板或晶圓片夾具

。臭氧清洗

。PVA軟毛刷清洗

。高壓DI清洗

。氮氣離子發生器

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產品質量

10分

售后服務

10分

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10分

性價比

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