德國Diener等離子清洗機Zepto，Atto，Femto，Pico，Nano，PlasmaBeam

德國Diener是專門生產經濟、可靠的等離子清洗和等離子刻蝕設備的公司， 是世界上材料處理低溫等離子體設備的市場和技術**者。Diener采用先進的集成化技術開發生產射頻頻率為40KHz 、80KHz、13.56MHz，以及代表等離子應用***技術的2.45GHz的等離子清洗機。

目前設備廣泛應用于：等離子清洗、刻蝕、灰化、涂鍍和表面處理。產品主要分布在真空電子、LED、太陽能光伏、集成電路、生命科學、半導體科研、半導體封裝、芯片制造、MEMS器件等領域。其設備生產零件均選用其零件行業的**質產品，以保證性能技術穩定。

德國diener等離子表面處理設備特點：

等離子清洗機清洗效果好，效率高，應用范圍廣。

對清洗樣品，沒有任何材質、外觀尺寸等要求

等離子清洗過程中，溫升很小，基本可達到常溫處理。

射頻功率無極連續可調。

高效的特制電極，是產生均勻等離子體的保證。

特制電極和托盤結構，可充分利用真空艙體內部空間，使處理效率**化，同時也可保證樣品可得到全面有效的清洗。

特有的過載、短路和過熱保護電路，可保證射頻電源的穩定和安全。

設備整體模塊化設計，安裝與維護極為簡單。

德國diener等離子表面處理設備多種系列：

Diener等離子表面處理設備 PICO PCCE 全自動

主要技術參數：

• *全自動PCCE控制系統，可存儲50套程序。

• *根據工藝要求不同，可設定真空泵啟動與停止、發生器的功率、反應腔體壓強、氣體流量與時間等參數

• 雙路工作氣體，MFC質量流量計

• *反應艙為方形鋁制腔體w: 150 mm， h: 160 mm， d: 325 mm帶有鉸鏈門，門帶有觀察窗。

• *發生器100 kHz， 0 – 500 W連續可調，反射波自動調節。

• 電極材質為鋁制。

• 真空泵抽氣能力8m3/h

• *配有壓力傳感器，實時顯示壓力值

• 電源電壓：單相AC230V 16A

配置清單：

操作面板