KSI V300E 單探頭超聲波掃描顯微鏡

1.掃描機械機構

? X軸和Y軸驅動系統全是磁懸浮高速線性電機

? *X、Y軸有效**掃描區域：300mm×300mm

? *X、Y軸**掃描速率：2m/s

? X、Y軸**掃描加速度：30m/s2

? X、Y軸的重復精度：±0.1um

? 掃描驅動裝置Z軸：自鎖步進馬達

? Z軸的重復精度：±0.25um

? 具有自動對焦功能

? Z軸升降行程：100mm

2.脈沖信號收發器和換能器

? 掃描工作模式：單通道工作模式

? 脈沖信號收發器帶寬：5MHz～500MHz

? 射頻總增益：72dB，以1dB/步增減調節

? *換能器要求及數量：

15MHz/f=0.75” 1個 ，檢測TO封裝等的厚型塑封器件

30MHz/f=12.7mm 1個 ，檢測常規的塑封器件

40MHz/f=20mm 1個 ，檢測IGBT等大功率模組

110MHz/f=8mm 1個 ，檢測Flipchip/BGA等薄型器件

175MHz/f=8mm 1個 ，檢測**型結構的器件或新設計

透射模組（含20MHz接收探頭） 1套，用來做IC的快速批量檢測或PCB板的檢測

? 模數轉換卡ADC 1GHz

? 聲學圖像放大倍數大于200×

3.樣品槽/工裝/過濾系統

? 樣品槽尺寸： 546mm×860mm×120mm（W×D×H）

? 機器內含自凈過濾系統

4.軟件

4.1控制軟件KSI VISION

? 軟件界面語言：英文

? 掃描模式：

1) 點掃描(A-Scan)

2) 縱剖掃描(B-Scan)

3) 橫剖掃描(C-Scan)

4) 斜剖掃描(D-Scan)

5) 多層橫剖掃描(X-Scan)

6) 多配置多層橫剖掃描(G-Scan)

7) 序列掃描(Sequence-Scan)

8) 自動掃描(Auto-Scan)

9) 3D掃描(3D-Scan)

10) Z掃描(Z-Scan)

11) 高質量掃描(HQ-Scan)

? 保存圖像格式：BMP、JPG、及保存所有尺寸及聲波信號的原始聲學圖像格式(SAM、SAZ)；

? **圖像采樣像素：32000×32000像素

? **采樣分辨率：1um （1000像素/毫米）

? *小門限時間：2ns

? 軟件主要功能：

1) 掃描過程中調節增益、門限時間、門限位置、門限延遲；

2) 厚度和距離測量

3) 分層缺陷著色

4) 掃描圖像復位功能，輕松重構超掃圖像； l

5) 3D圖像

6) 設置參數均會自動存儲，包括：A波形圖、功率設置、增益、數字門限延遲、門限寬度；

7) 閾值、正負波峰相位檢測包括：幅值、均值、雙極；

8) 被測樣品掃描尺寸和定位選擇、相位檢測、表面跟蹤、采樣圖像分辨率選擇；

*4.2 三維圖像掃描/旋轉/剪切軟件包KSI 4D VOLUME

? 能對聲學圖像進行三維掃描、旋轉、剖切等處理，直觀地再現被測樣品的空間感。

*4.3 二維圖像分析軟件包 KSI VSION VIEW

? 易用的圖像分析軟件包KSI VSION VIEW，包括缺陷面積百分比統計、著色處理等常用的聲學圖像分析功能；

5.工控機配置：

? Intel酷睿雙核處理器，核心頻率大于2.6GHz

? 正版Windows10操作系統英文版

? 24寸 平板顯示器 2個

? 128GB固態硬盤 + 1000 GB 機械硬盤

? 8 GB RAM 內存

可選配置包括如下：

① 能壓制水花的防誤判低噪探頭，從5MHz， 10MHz， 30MHz， 40MHz， 50MHz ………….230MH， 300MHz，330Hz，400MHz可選 （共200個多，機器標配已含15MHz探頭1個

② 二維圖像缺陷分析軟件包Ksi vision View

③ 三維圖像缺陷分析軟件包Ksi Volume4D

④ 主控軟件離線版 Ksi Vision （該軟件也可以在普通辦公電腦上運行）

⑤ 透射探頭套裝

⑥ 雙顯示器配置

⑦ 定制特殊樣品臺