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技術(shù)參數(shù)及要求：
基片尺寸：Φ5-Φ100mm 圓片，ZUI大100×100mm2 方片
轉(zhuǎn)速：250-9000RPM
旋涂設(shè)置：任意階段之間均可任意升降調(diào)節(jié)
轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：<±1%
旋涂均勻性：<1%
旋涂工藝階段：6 段
旋涂時(shí)間：單步工藝0-1800s，可根據(jù)客戶需求調(diào)節(jié)
整機(jī)尺寸（長寬高）：210mm×280mm×248mm
裸機(jī)尺寸（長寬高）：210mm×280mm×155mm
電機(jī)功率：40W
適應(yīng)材料：硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs、GaN、InP 等各種材料
配套無油真空泵參數(shù)：
型號：KW-550A/KW-550T
抽速：1.5 升/秒
功率：320W
噪音：50db
ZUI低真空度：-700mmHg
重量：7.3Kg
尺寸(長寬高)：240mm×160mm×230mm
抽氣速率：>60L/min
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