GC-9560-HG高純氣體分析系統適用于高純氣體和電子工業用氣體中痕量雜質的檢測，儀器配備原裝進口高靈敏的氦離子化（PDHID）檢測器；采用華愛色譜擁有技術的四閥五柱的中心切割與反吹技術，進樣閥采用原裝進口的帶吹掃保護氣路的六通或十通閥，連同原裝進口的氦氣純化器、無死體積取樣閥等部件一起組成一套完整的高純氣體分析整體解決方案。

眾所周知，高純氣體的分析是一個復雜的過程，也是色譜分析的難點之一；不僅需要高靈敏的檢測器，還要考慮樣品本身的特性及其背景，如吸附、取樣及分析過程中是否有空氣混入、系統的密閉性、系統的死體積等環節。上海華愛色譜分析技術有限公司總結了高純氣體分析過程中的技術難點，并給出了所有難點的解決措施，使GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀成為國內專業的高純氣體分析系統，很好的完成了氣體中微量雜質，特別是ppb級的雜質的分析。

適用的國家標準：

1、高純氣標準

GB/T 7445-1995 《純氫、高純氫、超純氫》 GB/T 14599-2008《純氧、高純氧和超純氧》

GB/T 8979-2008《純氮、高純氮和超純氮》 GB/T 4842-2006《氬》

GB/T 4844.3-1995 《高純氦》 GB/T 17873-1999《純氖》

GB/T 5829-2006《氪氣》 GB/T 5828-2006《氙氣》

HG/T 3633-1999《純甲烷》 GB 10621-2006《食品添加劑 液體二氧化碳》

2、電子氣標準

GB/T 16942-2009《電子工業用氣體 氫》 GB/T 16943-2009《電子工業用氣體 氦》

GB/T 16944-2009《電子工業用氣體 氮》 GB/T 16945-2009《電子工業用氣體 氬》

GB/T 14604-2009《電子工業用氣體 氧》 GB/T 14600-2009《電子工業用氣體 氧化氬氮》

GB/T 14601-2009《電子工業用氣體 氨》 GB/T 14602-93《電子工業用氣體 氯化氫》

GB/T 14603-2009《電子工業用氣體 三氟化硼》GB/T 18994-2003《電子工業用氣體 高純氯》

GB/T 14851-93《電子工業用氣體 磷化氫》 GB/T 17874-1999《電子工業用氣體 三氯化硼》

GB/T 15909-2009《電子工業用氣體 硅烷》 GB/T 21287-2007《電子工業用氣體 三氟化氮》

GB/T18867-2002《電子工業用氣體 六氟化硫》

系統配置：

（1）GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀

（2）氦離子化檢測器（PDHID）

（3）中心切割系統

（4）多柱箱系統

（5）氦氣純化器

（6）標準氣體

（7）色譜柱

（8）高純氦（純度>99.999％）

（9）氧吸附與還原系統

（10）載氣專用減壓閥

（11）無死體積專用取樣閥

（12）GC-9560V4.0版反控色譜工作站

一、中心切割技術，實現氣體全分析：

GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀采用多閥多柱的中心切割與反吹技術，該系統由多個吹掃型十通閥及多根色譜聯合組成，通過工作站設置的時間程序自動控制其進樣、切換、切割與反吹等過程，一次進樣即可完成包括高純氮、高純氫、高純氧、高純氦、高純二氧化碳、高純氬、氪氣、氙氣、氖氣等高純氣體以及硅烷等電子工業用氣體中痕量雜質的檢測。

吹掃型十通閥

GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀所配備的均為原裝進口VICI生產的帶保護氣路的吹掃型十通閥，閥平面始終處于載氣的氛圍中，避免進樣和切換時空氣滲透到樣品之中，大大提高檢測靈敏度和性。

VICI AG International是專業的進樣閥供應商，其生產的進樣閥制作精良，外觀精美，所有材料均進行了防吸附處理，且整個閥體的死體積已減小，再配合吹掃氣路的保護，從而排除空氣滲透對樣品中痕量雜質檢測的影響

經特殊加工的色譜柱技術

（1） 色譜柱管材采用316L不銹鋼材料，且管材內壁均經過鈍化處理，防止吸附和一氧化碳拖尾等問題的產生

（2） 色譜柱擔體均經過特殊處理，避免氧吸附等問題的產生

（3） 預切柱采用華愛色譜獲得國家的微型填充柱技術，樣品的分離，兼顧分離、穩定與快速

二、多柱箱分離系統

氣體樣品的形式多種多樣，同時雜質種類繁多，需要多根不同的色譜柱聯用來完成氣體樣品中的所有雜質的分離。由于不同色譜柱的工作溫度不盡相同，在同一個柱箱中很難找到同時適合不同色譜柱工作的工作溫度。GC-9560-HG采用多柱箱設計，有效解決了不同色譜柱需要不同工作溫度的難題。

在儀器的日常維護中，由于5A分子篩等不同擔體的色譜柱的活化溫度各不相同，如果在同一柱箱中進行老化需要將不耐受高溫的色譜柱拆下來，然后分別進行活化。GC-9560-HG的多柱箱設計可以有效解決上述問題，不同的色譜柱可以在不同柱箱中分別活化，避免了日常儀器維護工作中需要拆裝色譜柱的問題。

三、HP-2氦氣純化器：

GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀采用高純氦氣為載氣，氦氣的純度直接影響到整個儀器對雜質的檢測靈敏度。試驗證明，高純氣體分析所用載氣的純度至少比氣體樣品的本底純度高一個數量級。

HP-2型氦氣純化器是VICI公司生產的一款專載氣純化器，其純化基質是一種無揮發性的吸附性合金，吸附劑粒子表面有一層氧化膜需通過加熱活化，活化過程必須在真空或惰性氣體環境下完成，這樣可允許氦氣在其間自由擴散，防止氧氣純化層的形成，又可以進行雜質氣體的吸附。HP的吸附劑材料具有良好的熱穩定性，包括兩個溫度控制范圍。

可純化氣體：He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn

大操作壓力：1000Psi

去除氣體：H₂、O₂、N₂、CO、CO₂、CH₄、H₂O、NO、NH₃、CF₄等

殘留濃度：≤10ppb

四、進樣壓力校正系統

傳統的色譜儀采用在進樣閥出口處控制流量的辦法來控制定量管內的進樣體積，試驗證明這種方法有著大的分析誤差

以分析高純氫氣為例：標準氣是配置在氦氣中的六種雜質，而樣品氣是在氫氣中的六種雜質；由于氦氣和氫氣的分子量不同，從而造成了在相同流量下的進樣量是不一致的情況

GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀配備壓力校正系統，克服因底氣不同造成的進樣量不一致的問題，確保數據的性。

五、無死體積取樣閥

GC-9560-HG配備了無死體積的專用取樣閥，采用帶吹掃保護的取樣方式，有效的避免了空氣殘留的問題，將取樣過程對分析的影響降至低的水平。

六、載氣專用減壓閥

普通減壓閥由于死體積的存在，直接影響到經減壓閥輸出后的載氣純度，造成載氣中的本底雜質濃度很高，從而影響到整個系統的檢測限。

GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀配備具有兩級穩壓功能的全不銹鋼載氣減壓閥，大大提高了壓力穩定性，確保基線的穩定，同時也降低了閥體內的死體積，進一步提高檢測靈敏度。

七、電子氣取樣系統

電子氣體的分析有其特殊性，如硅烷遇O₂極易自燃、有些電子氣體為有毒有害氣體，采用傳統的取樣方式無法完成電子氣的分析

GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀可以選配專業的電子氣取樣系統，該系統采用吹掃、真空等方式確保系統中無O₂存在，管路全部采用316L不銹鋼材料制成的外徑1/8"管道，內壁經拋光和鈍化處理，防止吸附。接口采用鍍金卡套式接口，嚴格確保系統氣密性，排除了潛在危險。電磁閥和微型真空泵的應用使整個系統的操作更加方便，通過色譜工作站可完成吹掃，取樣，進樣等一系列操作。