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儀器應用
l 空分工藝；
l 氬氣純化工廠；
l 氦液化工廠；
l 特氣實驗室；
l 半導體生產制造業
儀器特點：
l 純氬或純氦中的微量氮分析
l 穩定，靈敏的等離子檢測器
l 固態質量流量傳感控制器
l 三個量程可自由選擇
l 低維護，持續測量準確可靠
儀器特點：
l 被測組分：N2；
l 測量原理：等離子法（PED）；
l 測量范圍：0-1ppm/10ppm/100ppm；
l 重復性：<1%量程；
l 精度：<1%量程；
l 漂移：<1%量程/24小時；
l 數字輸出：1路系統狀態，3路量程，1路校準；
l 輸出：4-20mA獨立輸出；
l 顯示：TFT智能觸摸液晶顯示屏；
l 樣氣壓力：10-25 PSIG；
l 串行通訊：RS232，RS485，Profibus
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