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MicronX型熒光測厚儀是一種專門應用于半導體材料和電子器件領域的檢測設備。
檢測區域為50m~500um. 通過CCD 可放大圖像達300倍。通過高精密度樣品臺可提供元素面分布圖。
可對多達7層的涂層或鍍層進行逐層厚度測量。
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