英國Hiden公司的QIC 20 小型在線氣體分析質譜儀是一臺完備的臺式氣體分析系統，用于監測氣體和過程分析，便于生產、研究使用。

應用：

· 過程監測

· 在線分析

· 污染物研究

· CVD / MOCVD

· 環境氣體分析

· 熱分析質譜

· 催化劑研究/ 反應動力學

技術參數：

· QIC 直接進樣，對氣體、蒸氣的響應時間 <300ms> · 1～20 sccm / min連續進樣

· 取樣壓力：100 mbar ～ 2 bar（可選配10mbar－2bar）

· 高壓取樣接口至30 Bar（選配）

· 靈敏度高 (0.1ppm標配，可選配至 5 ppb)

· 質量數：1-200amu標配。可選配50amu，100amu，300amu，510 amu。

主要特點：

· 高效、柔韌、加熱(直到200℃)惰性石英毛細管（QIC)

· 惰性毛細管避免了氣體與毛細管發生物理或化學反應

· 自動流量控制，以恒定離子源壓力

· 液氮低溫板（選配），增強對可凝結的背景氣體的抽吸

· 軟離子化技術，有利于分析復雜有機物

· 穩定性(24h以上，峰高變化小于±0.5% )

· 通過RS232、RS485或以太網連接計算機，由 MASsoft 軟件控制

· 定量分析方法