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意力博通濺射儀ETD-900
意力博通濺射儀ETD-900

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北京

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世友創業(北京)科技有限公司

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ETD-900型離子濺射儀是依據二極(DC)直流濺射原理設計而成的,*簡單、可靠、經濟的鍍膜設備。

適用于電鏡實驗室的掃描電子顯微鏡(SEM)樣品制備,非導體材料實驗電極制作。

特點:

1. 配置有樣品濺射室真空表和濺射電流表,用以指示、監控儀器狀態;

2. 濺射電流調整控制器、微型真空氣閥。在工作時結合內部自動控制電路很容易控制真空室壓強、電離電流及任意選擇所需要的電離氣體,獲得**鍍膜效果;

3. 特殊設計的鐘罩邊緣橡膠密封圈,可保證長期使用不會出現影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊”現象;

4. 根據電場中氣體電離特性,采用大容量樣品濺射真空室和相應面積濺射靶,使濺射鍍層更均勻純凈。

型號

ETD-900

主機規格

L360mm*W300mm*H380mm

靶(上部電極)

金:直徑:50mm,厚度:0.1mm

真空樣品室

直徑:160mm,高:120mm

濺射面積

Ф50mm

真空指示表

**真空度:≤ 4X10-2 mbar

離子電流表

**電流:50mA(100mA)

定時器

*長時間:3600S

微型真空氣閥

可連接φ3mm軟管

可通入氣體

多種

**電壓

-1600 DCV

機械泵

2L/S

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10分

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