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技術參數： 1.設備型號：VIF-1 2.**溫度：1800℃ 3.冷態極限真空度：5×10 -4 Pa（分子泵機組） 冷態極限真空度：5×10 -3 Pa（擴散泵機組） 4.充氣壓力：≤0.05MPa 5.升壓率：小于 4Pa/h 6.爐體：雙層水冷結構、304 不銹鋼材質。 7.復合真空計型號：ZDR-III 8.復合真空計測量范圍：1.0×10 ? 5 ～1.0×10 5 9.前級機械泵型號：BSV30 10.前級機械泵抽速：8L/S 11.擴散泵型號：TK150 12.擴散泵抽速：1000L/S 13.分子泵型號：FJ620（選購） 14.分子泵抽速：600L/S
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