非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
鎳銅絲燒結氣氛：
其他溫控精度：
≤±5℃最高溫度：
2000℃額定溫度：
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產品介紹
氮化硅專用燒結爐采用非接觸式高溫測量設計、具有真空系統(tǒng)過濾保護與獨特的脫蠟系統(tǒng)及尾氣處理設計。主要對硬質合金、金屬陶瓷等材料進行真空、加壓，使產品密致化等。主要應用于航空航天、軌道交通、半導體等新材料領域。
產品參數(shù)
| 裝料空間（W*H*L） | 500*500*1300、500*500*1500、500*500*1800 |
| 設計標準 | JB4732-1995（2005年確認版） |
| 設計壽命 | 20年/6000爐次 |
| **溫度 | 2000℃ |
| **壓力 | 10MPa |
| 真空泄漏率 | ≤5×10-3 mbarl/s |
| 高壓升壓速率 | ≤5bar/min |
| 升溫速率 (滿載、<1000℃） | ≤10℃/min |
| 升溫速率 (滿載、≥1000℃） | ≤6℃/min |
| 溫度均勻性 | ≤±5℃ |
| 測溫方式 | WRe5-26雙芯熱電偶 |
| 加熱區(qū)數(shù) | 三區(qū)/四區(qū) |
| 具備功能 | 正壓脫蠟、負壓脫蠟、真空燒結、壓力燒結、帶電降溫、加壓快冷、真空冷卻 |
| 工藝氣體種類 | N2 Ar |
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