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Park NX20 300mm
Park NX20 300mm

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面議

型號

Park NX20 300mm

品牌

Park

產地

韓國

樣本

暫無
韓國帕克股份有限公司

會員

|

第4年

|

工商已核實

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核心參數
  • 重現性:

    *
  • 儀器原理:

    其他
  • 分散方式:

    *
  • 測量時間:

    *
  • 測量范圍:

    300mmx300mm區
  • 誤差率:

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  • 分辨率:

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Park NX20 300mm


可用于 300mm晶片圓測量和分析的**自動化納米測量工具

Park NX20      300mm是業界**大樣品原子力顯微鏡,支持300mm×300mm全程機動化。新升級的Park      NX20系統專為失效分析和質量控制實驗室設計,可有效地檢測整個300mm晶圓,且無需任何繁瑣的樣品位移。盡管擴大了支持300mm樣品的機動XY工作臺,但Park的創新性振動隔離技術仍然能夠將系統噪聲保持在低于0.5      (?) RMS,通常是0.3 ? RMS的水平。

經檢驗的原子力顯微鏡性能和單擊-原子力顯微鏡自動化取消了樣本調整的需求,并使Park    NX20的掃描過程盡可能高效和便于使用。通過我們的“批處理模式(Program    Mode)”界面,用戶可以在整個300mmx300mm區域輕松實現可靠與可重復的順序多站點測量。NX20    300 mm從而成為需要掃描大樣品的FA、QA和QC工程師的**。

專為大樣品晶圓檢測而建

NX20 300  mm進行了全新設計,可達到大樣品的**測量。整個300mm晶圓區域可進行低噪聲原子力顯微鏡測量分析。這開啟了一個全新的自動化測量范圍,讓工程師可以更快捷、更簡便、更精確地開展工作。

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