干式螺桿真空泵是由一對平行的螺旋狀轉子與泵體組成的一個工作室，經五軸聯動復合加工中心加工的二個螺桿轉子之間及其與泵體之間沒有摩擦且保持一定的間隙，兩個轉子與泵體之間形成了多個密封腔，轉子通過同比齒輪在泵殼中作同步高速反向旋轉時，將各密封腔內的氣體從進氣端不斷地推向排氣端，而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備。
        螺桿泵工作腔為間隙密封，無潤滑油，是環保型真空設備，因此干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體，極限真空高，消耗功率低，具有節能、降耗免維修等優點，特別在半導體、電子工業中要求無油潔凈的場合以及化工制藥中對溶劑的回收工藝等具有不可比擬的優越性。
        螺桿真空泵是傳統水環真空泵、水噴射真空泵、往復真空泵、滑閥真空泵、旋片式真空泵等真空泵的替代產品，該產品的升級換代可有效消除醫藥化工行業真空流程的污水排放，有利尾氣溶劑回收，也可有效降低滑閥真空泵、旋片式真空泵的油蒸汽污染，降低設備維護成本。

螺桿真空泵性能特點
1.工作腔內無潤滑油存在，可獲得清潔真空
2.工作腔內無油氣污染被抽氣體，工藝性氣體回收利用率高，尾氣處理方便；同時也避免了油氣和油煙等的排放，環境污染小。
3.工作腔內無潤滑油存在，避免了因潤滑油乳化、變質而出現的運行故障，提高了系統的穩定性，同時減少了泵潤滑油的損耗。
4.泵適用范圍廣。泵工作腔及螺旋轉子表面有防腐涂層，可適應惡劣的工況；
5.泵腔為間隙密封結構，對少量小顆粒粉塵不敏感，且泵腔直通，無中隔板結構，粉塵不易在泵腔內沉積；采用防爆配置時可用于抽除易燃易爆的氣體。
6.泵工作時泵腔內溫度可達到100℃以上，使可凝性氣不易冷凝，且泵腔內為直通結構，排氣口在泵腔底部，泵腔內的雜物容易排出，因此適宜抽取可凝性氣體。
7.泵可單獨使用，或者與羅茨泵、分子泵等組合成無油真空機組，作為機組的前級泵使用。單泵進氣壓力在1Pa至大氣壓均能正常工作，抽氣效率高，可大大簡化抽真空系統。
8.螺桿泵工作時需保持較高溫度，且泵工作時外表面自然散熱的效率相對提高，且冷卻水與泵體溫差大，冷卻效果好，因此泵冷卻水用量少，對冷卻水的溫度要求低。
9.獨有的以螺旋方式將多級轉子直接串聯，聯消了中隔板結構，無中間級吸排氣過程，工作過程簡單、連續，效率高，泵運行穩定性高。
10.泵腔內各零件采用間隙密封，零件間無接觸摩擦存在，零件損耗小，壽命長；同時泵轉速高，整機體積小。
11.螺桿泵結構簡單，零件種類、數量少，維護方便。
12.啟動快，啟動電流小，啟動時對電網的沖擊小，啟動后泵即達正常抽速。