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-重量（kg）：
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靜電吸盤，是一種適用于大氣或真空環境的超潔凈薄片承載體、抓取搬運設備的總稱。業內簡稱為ESC或E-CHUCK，靜電吸盤所使用的靜電吸附技術是一種替代傳統機械夾持、真空吸附方式的優勢技術，在半導體、面板顯示、光學等領域中有著廣泛應用。
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