石墨盤專用真空烤盤爐

產品介紹：真空烤盤爐是與MOCVD設備配套使用的爐體，爐內抽真空，被處理工件放置在爐膛內，采用清洗氣體加熱反應方式進行干式清洗（清洗氣體：N2，H2）。

應用范圍：

主要用于有效清除MOCVD承受器 （SiC涂層石墨盤或石英盤）上的氮化鎵和氮化鋁等，可達到有效清潔處理，提高制品質量的目的。

設計特點：

1、后門設計熱風電機

2、降溫時風機開啟，同時兩端降溫封頭開啟， 爐膛內產生如圖所示的氣體流向

3、通過氣體介質將隔熱層內與水冷壁之間進 行熱交換，達到快速降溫的目的

內部系統結構及原理：

技術參數：