制作方法：
氣相合成法主成分含量：
99.9%存儲條件：
密封保存密度：
4.93純度：
99.9%莫氏硬度：
7.49顏色：
黑色目數：
1um/5um/10um品級：
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產品應用
制備硅化釩薄膜。用大束流密度的釩金屬離子注入硅，能夠直接合成性能良好的薄層硅化物。隨束流密度的增加，硅化釩相生長，薄層硅化物的方塊電阻RS 明顯下降，當束流密度為25μA/cm2 時，Rs 達到*小值22Ψ，說明連續的硅化物已經形成。X 衍射分析表明，注入層中形成了V3Si 、V5Si3 、V3Si5 和VSi2 四種硅化釩。經過退火后，Rs 明顯地下降，Rs *小可降到9Ψ，電阻率可小到72μΨm ，說明硅化釩薄層質量得到了進一步的改善，大束流密度注入和退火后，硅化釩相進一步生長。大束流密度注入和高溫退火(1200 ℃)仍然具有很低的薄層電阻率，這充分說明硅化釩具很好的熱穩定性。透射電子微鏡觀察表明，連續硅化釩薄層厚度為80nm 。
包裝儲存
本品為充惰氣塑料袋包裝，密封保存于干燥、陰涼的環境中，不宜暴露空氣中，防受潮發生氧化團聚，影響分散性能和使用效果；包裝數量可以根據客戶要求提供，分裝。
氣相合成法制備高純二硅化釩
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