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性能特點 Performance
1.為解決鍍膜濺射爬堝問題及鎳、銅腐蝕問題而獨立開發的新型配方產品。
2.采用先進的配方工藝，優化組分，化學穩定性好，電阻率穩定。
3.抗氧化性能好，抗金屬鋁，鎳，銅金等腐蝕。
4.**使用溫度1800度。
1. Independently developed new formula products in order to solve the problems of sputtering pot and nickel and copper corrosion.
2. Adopt advanced formulation technology, optimize components, have good chemical stability and stable resistivity.
3. Good oxidation resistance, resistant to aluminum, nickel, copper and gold corrosion.
4. The maximum using temperature is 1800 ℃.
?上一個： 半導體設備氮化硼絕緣配件 BN Insulation Parts for Semiconductor Equipment
性能指標 Performance Indexes
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